Supapă cu poartă cuțit

Structurile supapelor de reglare a presiunii în debit încrucișat sunt atractive pentru aplicațiile de control al presiunii de debit mare datorită forței de acționare reduse necesare și zonei reduse a amprentei dispozitivului. S-a fabricat o supapă de tip cuțit, controlând un debit de 1,3 Nl/min la o presiune de alimentare de 1,5 bar. Supapa a fost microfabricată folosind gravarea ionică reactivă profundă (DRIE) și legare prin fuziune cu siliciu. Utilizarea supapelor cu cuțit micro prelucrate în sistemele de control al presiunii îmbunătățește performanța și pot fi realizate economii de costuri.